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AL-MLDMHS20型 微波制备大面积金刚石膜散热片反应仪
仪器型号
仪器功能
，，，，，，，，，，，金刚石膜 微波等离子 化学气相沉积
仪器简介
1、微波频率915MHz；2、微波功率2000W；3、可以对200mm直径的衬底沉积金刚石薄膜；4、保证一直有功率输出；5、AI人工智慧逻辑算法；6、衬底台中内置辅助电阻加热器，功率4000W；7、压力控制范围：0~50KPa；8、系统驻波系数：VSWR≤1.5；
AL-SMGG20型 小型微波石墨烯气相反应仪
仪器型号
仪器功能
石墨烯 微波 微波石墨烯 气相反应 CVD
仪器简介
1、功率：2000W。2、测温和控温范围:0～1200℃；具有速率升温功能。3、红外温度传感器。4、7英寸触摸屏直接操作。5、全新AI人工智慧逻辑算法。6、石英腔体，反应区尺寸：Φ200*300 mm 。
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